飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)，通過用一次離子激發(fā)樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據(jù)二次離子因不同的質(zhì)量而飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同來測(cè)定離子質(zhì)量，具有高分辨率的測(cè)量技術(shù)。

   飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜可以廣泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面，可以提供表面，薄膜，界面以至于三維樣品的元素、分子等結(jié)構(gòu)信息，其特點(diǎn)在二次離子來自表面單個(gè)原子層分子層（1nm以內(nèi)），僅帶出表面的化 學(xué)信息，具有分析區(qū)域小、分析深度淺和不破壞樣品的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于物理，化學(xué)，微電子，生物，制藥，空間分析等工業(yè)和研究方面。

   當(dāng)產(chǎn)品表面膜層太薄，無法使用常規(guī)測(cè)試進(jìn)行成分分析，可進(jìn)行分析，利用可定性分析膜層的成分。當(dāng)產(chǎn)品表面出現(xiàn)異物，但是未能確定異物的種類，利用成分分析，不僅可以分析出異物所含元素，還可以分析出異物的分子式，包括有機(jī)物分子式。當(dāng)膜層與基材截面出現(xiàn)分層等問題，但是未能觀察到明顯的異物痕跡，可使用分析表面痕量物質(zhì)成分，以確定截面是否存在外來污染，檢出限高達(dá)ppm級(jí)別。

   取樣的時(shí)候避免手和取樣工具接觸到需要測(cè)試的位置，取下樣品后使用真空包裝或其他能隔離外界環(huán)境的包裝， 避免外來污染影響分析結(jié)果。飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜測(cè)試的樣品不受導(dǎo)電性的限制，絕緣的樣品也可以測(cè)試。飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜采用一次離子轟擊固體材料表面，產(chǎn)生二次離子，并根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比探測(cè)材料的成分和結(jié)構(gòu)。相對(duì)于XPS、AES等表面分析方法，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜可以分析包括氫在內(nèi)的所有元素，可以分析包括有機(jī)大 分子在內(nèi)的化合物，具有更高的分辨率。