垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊：

VBT系列機(jī)器是一種單級(jí)自動(dòng)垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具，具有凹口/平面對(duì)齊選項(xiàng)。

邊緣的晶圓處理

檢測傳感器，用于監(jiān)測傳輸和對(duì)齊過程。

占地面積小。

垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊：

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