六角形分揀機(jī)/EFEM 150/200mm自動(dòng)化平臺：

高通量開放式卡塞晶圓分選機(jī)

雙晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

雙對齊器

2-6個(gè)帶映射的加載端口

晶圓翻轉(zhuǎn)

高吞吐量200mm SMIF分揀機(jī)

雙晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

雙對齊器

2個(gè)帶映射的SMIF加載端口

迷你環(huán)境

設(shè)備前端模塊

1-6個(gè)加載端口（開放式卡塞或SMIF）

雙對齊器

晶圓裝載窗口

六角形分揀機(jī)/EFEM 150/200mm自動(dòng)化平臺：SECS/GEM和GEM300通信

科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理?？祁９疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備，周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國，納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域，都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)?？祁ＴO(shè)備有限公司有幸成長在這個(gè)火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。