靜電吸盤能夠通過靜電力將多個(gè)芯片以及晶片的一部分夾緊到晶片吸盤上。

靜電吸盤設(shè)備對(duì)于研發(fā)機(jī)構(gòu)來說非常有用，因?yàn)檠邪l(fā)機(jī)構(gòu)并不總是能夠處理完整的晶圓。芯片的靜電夾緊允許在氫fu酸蒸汽釋放之前對(duì)MEMS晶片進(jìn)行苛刻的切割過程。通過修改經(jīng)典的制造順序，可以在輕腐蝕性液體下刻蝕出MEMS器件。

靜電吸盤的使用非常簡單。芯片被放置在晶片架上，電力由控制器箱上的開關(guān)打開。靜電力可以調(diào)節(jié)。

靜電卡盤既可用于整個(gè)晶片夾緊，也可用于單個(gè)芯片的靜電夾緊。

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