電化學開爾文探針測量 CPD（接觸電位差）值并評估與電解質(zhì)接觸的電化學樣品的功函數(shù)。 功函數(shù)的測量在半導(dǎo)體物理學中特別有用，因為它們在被檢查的材料中提供了費米能級的位置。 當電化學開爾文探針與光源耦合時，當干或濕界面被照亮時，可測量樣品的表面光電壓 （SPV）。 電化學 Kelvin 探針配有專用的電化學比色皿。在那里，樣品漂浮在電解質(zhì)上。開爾文探針接近樣品的暴露頂部。這樣，樣品頂部沒有會影響測得的 CPD 的電解質(zhì)層。盡管如此，樣品的底部仍與電解質(zhì)接觸。 光線可以照亮樣品的頂面或底部樣品-電解質(zhì)界面。 樣品-電解質(zhì)界面上可能發(fā)生的化學反應(yīng)會影響 CPD 的測量值。

探針模塊

探針套件包括：

控制器單元，

帶探針的 Kelvin Probe 儀器，

電化學比色皿 /

法拉第籠

電化學 Kelvin 探針儀器配備：

實驗后用于停放探針的保護槽，激光指示器直接指示區(qū)域，當儀器被法拉第籠覆蓋時幫助處理樣品的光源，激光屏障，用于精確檢測探針與樣品的距離，Golden 探針，電化學比色皿樣品架，電化學比色皿，樣品放在上面。

電化學比色皿

電化學開爾文 探針的關(guān)鍵元件是電化學比色皿套件，其中樣品直接放置在比色皿的頂部。

規(guī)格

重量： 15 kg，

尺寸：40x40x45 厘米，

PC 連接：USB 2.0、

電源：230 V，50 Hz 或      115 V，60 Hz，

測量技術(shù)：2 通道鎖相放大器，

激光屏障可自動檢測基材并防止針尖進入樣品，

輔助傳感器：濕度、溫度、

小燈 /

用于表面指示的檢查點的激光指示器，

樣品架：

     – 自由形狀的固態(tài)，帶頂部觸點支架，

     – 底部觸點支架，

     – 電化學支架，

法拉第籠：

標準/氣密，帶惰性氣體流動系統(tǒng)，

測量單位：

偏置電壓范圍：-5 ÷ 5 V，

電壓測量分辨率：0.15 mV，

電流范圍：300 nA、30 nA、3      nA、300 pA、

探頭：

探針類型：Au 網(wǎng)孔，直徑 2.5 mm，

垂直軸上的針尖定位分辨率：20 μm，

自動共振頻率掃描 /

可調(diào)振蕩幅度 /

自動去除的寄生電流，

光源的部分透明度，

典型 CPD 測量距離：0.2 – 1 mm，

XY 工作臺：

電動，通過軟件控制，

尺寸：50 x 50 mm，

移動范圍：50 x 50 mm，

電化學比色皿

比色皿類型：標準/底部光學元件、

電極類型：Ag/AgCl 或其他，

電解液容器材質(zhì)：PTFE，

樣品基材：帶孔或其他的 Kapton 絕緣箔，

底部光學比色皿

光纖：液體波導(dǎo)，

鏡面：紫外線增強或定制，

光學窗口：熔融石英。