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半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用
半自動光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動光刻機(jī),憑借其較高的性價比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 了解ISO16890新標(biāo)準(zhǔn),助您選擇過濾器! 2023-02-01

    2018年以來,ISO16890已經(jīng)完全取代之前EN779,成為空氣過濾器分類的國際有效測試標(biāo)準(zhǔn)。ISO16890的導(dǎo)入標(biāo)志著行業(yè)范式的轉(zhuǎn)變。ISO16890是根據(jù)對不同粒徑顆粒物(PM)的過濾效率對空氣過濾器進(jìn)行分類,這使我們更加直觀地看到空氣過濾器產(chǎn)品與空氣污染物的直接聯(lián)系,同時也更加的清晰室內(nèi)空氣質(zhì)量(IAQ)與人體健康關(guān)聯(lián)。ISO16890與EN779標(biāo)準(zhǔn)與EN779相比,根據(jù)ISO16890進(jìn)行的測試程序更有區(qū)分度,ISO16890根據(jù)三種不同粒徑的顆粒物分組計算過...

  • 光刻機(jī)百科介紹 2023-01-17

    一、光刻機(jī)(lithography)又名:掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。二、組成步驟:利用模版去除晶圓表面的保護(hù)膜、將晶圓浸泡在腐化劑中,失去保護(hù)膜的部分被腐蝕掉后形成電路、用純水洗凈殘留在晶圓表面的雜質(zhì)、模版和晶圓大小一樣,模版不動、模版和集成電路大小一樣,模版隨曝光機(jī)聚焦部分移動。三、曝光機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備,制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ),世界上只...

  • 三維風(fēng)速儀的基礎(chǔ)原理介紹 2022-12-30

    一、應(yīng)用原理:(1)該儀器利用發(fā)送聲波脈沖,測量接收端的時間或頻率(多普勒變換)差別來計算風(fēng)速和風(fēng)向的測量傳感器或測量儀器。(2)是超聲波檢測技術(shù)在氣體介質(zhì)中的一種應(yīng)用它是利用超聲波在空氣中傳播速度受空氣流動(風(fēng))的影響來測量風(fēng)速的。屬于無慣性測量,故能準(zhǔn)確測出自然風(fēng)中陣風(fēng)脈動的高頻成分,結(jié)合現(xiàn)代計算機(jī)技術(shù),可在更高層次上揭示自然風(fēng)的特性對于提高抗風(fēng)減災(zāi)能力和風(fēng)資源的合理利用有重大意義。(3)具有重量輕、沒有任何移動部件、堅固耐用的特點(diǎn),而且不需維護(hù)和現(xiàn)場校準(zhǔn),能同時輸出風(fēng)速...

  • 激光直寫無掩膜光刻機(jī)在3D灰度曝光的應(yīng)用 2022-12-12

    激光直寫無掩膜光刻機(jī)是一種利用圖形化DMD微鏡矩陣控制的直寫曝光光刻設(shè)備。該設(shè)備可以在無需曝光掩膜版的條件下,根據(jù)用戶研究需要,直接在光刻膠樣品表面上照射得到含有3D灰度信息的曝光圖案,為微流控、MEMS、半導(dǎo)體、自旋電子學(xué)等研究領(lǐng)域提供方便高效的微加工方案。此外,它還具備結(jié)構(gòu)緊湊(70cm×70cm×70cm)、高直寫速度,高分辨率(XY~0.6μm)的特點(diǎn)。采用集成化設(shè)計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。目前在國內(nèi)擁有包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、中國科技大學(xué)、南京大學(xué)等100...

  • 半自動光刻機(jī)的基礎(chǔ)應(yīng)用 2022-10-24

    一、光刻機(jī)是掩模對準(zhǔn)曝光機(jī),曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等,是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù),把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。二、分類:手動:指的是對準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準(zhǔn),對準(zhǔn)精度可想而知不高了;半自動:指的是對準(zhǔn)可以通過電動軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧;自動:指的是從基板的上載下載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機(jī)主要是滿足工廠對于處理量的需要。三、技術(shù)指標(biāo):(1)支持基片的尺寸范圍,分辨率、對...

  • 固體氣溶膠發(fā)生器使用前后應(yīng)注意什么? 2022-09-01

    固體氣溶膠發(fā)生器是一種用于各種實(shí)驗中的科學(xué)實(shí)驗設(shè)備,這類氣溶膠發(fā)生器,都采用特殊的噴油嘴設(shè)計。噴頭噴霧能產(chǎn)生次微米的多種直徑的油霧懸浮粒子,這類實(shí)驗設(shè)備經(jīng)常與光度計被用于高效的空氣過濾系統(tǒng)中完整性測試或查找泄露源測試。任何一個儀器設(shè)備在使用的時候都需要格外細(xì)致,不僅要在用后做好相關(guān)的維護(hù)保養(yǎng)工作,使用前的全面了解也是非常有必要的,那么我們在使用固體氣溶膠發(fā)生器的前后都需要做點(diǎn)什么工作呢?一、使用前的檢驗查看:1、檢查電源線。如果發(fā)現(xiàn)電源線已老化并且插頭已損壞,請在必要時更換新...

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