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產(chǎn)品分類
薄膜半導體材料制備系統(tǒng)
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磁控濺射儀,配置load-lock,可放置5片6英寸樣品,在高真空狀態(tài)下,由電動馬達分別傳送每片樣品,順序濺射每片樣品,逐一完成5片濺射鍍膜。
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