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批號(hào)閱讀器對(duì)齊并讀取第一個(gè)可用150mm或200mm晶圓上的識(shí)別標(biāo)簽。將150mm晶圓與平面晶圓和200mm晶圓與凹口進(jìn)行批量對(duì)齊。

手動(dòng)/自動(dòng)批量晶圓轉(zhuǎn)移，AWT/MWT（自動(dòng)/手動(dòng)晶圓傳送）機(jī)器在卡塞之間水平傳送晶圓。

垂直批量晶圓傳送和平面/凹口對(duì)齊，VBT系列機(jī)器是一種單級(jí)自動(dòng)垂直晶圓轉(zhuǎn)移工具，具有凹口/平面對(duì)齊選項(xiàng)。

自動(dòng)AI宏觀晶圓檢測，將檢查攝像頭整合到SPPE和SPPE-SORT設(shè)備中，以自動(dòng)檢查晶片的任何方面。

自動(dòng)AI晶圓邊緣檢測，安裝在批次ID閱讀器周圍的Cognex InSight ViDi D905相機(jī)。

自動(dòng)AI微晶圓檢測，X/Y工作臺(tái)在顯微鏡下移動(dòng)晶片，手動(dòng)裝載系統(tǒng)，配備自定心晶圓裝載臺(tái)，計(jì)劃采用全自動(dòng)系統(tǒng)。