MDA-400M光刻機又名：掩模對準曝光機，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)，光刻機，紫外曝光機等；
MIDAS為半導體設備供應商，多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發(fā)與生產(chǎn)，并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域；該公司是目前將光刻機商品化的公司之一，擁有雄厚的技術研發(fā)力量和設備生產(chǎn)能力；并且其設備被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校所采用；以優(yōu)秀的技術、工藝和良好的服務，贏得了用戶的青睞。

產(chǎn)地：韓國MIDAS公司，唯1能做到圖形化藍寶石襯底（PSS）光刻機，高性價比
型號：MDA-400M

MDA-400M光刻機：

易于操作和安裝，處理各種尺寸的基板，帶觸摸屏面板的PLC控制

•全手動類型

•掩模版尺寸達5英寸

•基板尺寸為4英寸圓形

•均勻光束尺寸4.25*4.25英寸

•光源：紫外線燈，350 W

•光束波長350~450 nm

•光束均勻性<±3%

•365 nm強度 ~25 mW/?

•手動對準

•對準精度1 um

•操作模式：軟、硬、真空接觸和接近

•工藝分辨率 1 um@1 um PR厚度，帶真空觸點

•尺寸（mm）1080（寬）*1060（深）*1580（高）